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潔凈室裝修設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范說明
為了統(tǒng)一潔凈室的空氣潔凈度等級、各類技術(shù)要求，世界各國都陸續(xù)制定了各自的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，著名的美國之音FS209標(biāo)準(zhǔn)便是從1963年開始制定發(fā)布實施的，到1992年已從209A不斷修改變化為。潔凈室標(biāo)準(zhǔn)是源于各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)、產(chǎn)品性能的不斷研究開發(fā)、升級和各種使用要求，對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高，尤其是半導(dǎo)體集成電路的高速發(fā)民是潔凈度等級的擴大和控制微粒粒徑日益嚴(yán)格的重要標(biāo)志。 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)也源于潔凈技術(shù)的研究開發(fā)和發(fā)展。因此潔凈室標(biāo)準(zhǔn)的實施，對潔凈室的設(shè)計建造和運行具有重要性、…
