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一般潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)
潔凈實(shí)驗(yàn)室是污染操控的根基，如果沒有了潔凈室，那么對于那些污染靈敏的零件是不可能批量出產(chǎn)的。 潔凈實(shí)驗(yàn)室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為“無塵實(shí)驗(yàn)室”。 對于潔凈實(shí)驗(yàn)室也是有等級分類的： 首先就是空氣中的塵埃的數(shù)目的直徑大于等于0.5um，要是按照無塵哎度的話，就可以分成100，1K，10K，100K四個等級，在10K等級的無塵室內(nèi)，大于等于0.5um的塵埃的一般每立方英尺不能超過10000個。 潔凈實(shí)…
