潔凈室是指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、尖端技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導(dǎo)體工業(yè)（如大規(guī)模集成電路生產(chǎn)）等對(duì)環(huán)境的要求，促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國(guó)內(nèi)曾統(tǒng)計(jì)過(guò)，在無(wú)潔凈級(jí)別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲(chǔ)存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。

一、潔凈室的分類

1、按氣流的流動(dòng)狀態(tài)分
根據(jù)氣流的流動(dòng)狀態(tài)分，主要有以下三種氣流分布的潔凈室 [1] ：
（1） 非單向流潔凈室：以前常稱為亂流型潔凈室，室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動(dòng)。非單向流潔凈室有幾個(gè)共同的特點(diǎn)：終端過(guò)濾器（高效或亞高效）盡量接近潔凈室，它可以就是送風(fēng)口或直接連送風(fēng)口，也可以接到房間的送風(fēng)靜壓箱上；回風(fēng)口均設(shè)在潔凈室的下部，目的是避免出現(xiàn)“揚(yáng)灰”現(xiàn)象。非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級(jí)的潔凈室中。
（2） 單向流潔凈室：?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€平行，以單一方向流動(dòng)，并且在斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，準(zhǔn)垂直單向流，水平單向流潔凈室等。
（3） 矢量潔凈室：在房間的側(cè)上角送風(fēng)，采用扇形高效過(guò)濾器，也可以用普通高效過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口，在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口，房間的高長(zhǎng)比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(jí)（100級(jí)）潔凈度。
潔凈室的流型基本上是上述三種類型，但是實(shí)際應(yīng)用時(shí)可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區(qū)域（單向流部分）實(shí)現(xiàn)高級(jí)別的潔凈室。例如，在潔凈室中設(shè)水平單向流的“隧道”（一側(cè)敞開(kāi)），潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型，從而實(shí)現(xiàn)“隧道”部分達(dá)到5級(jí)以上潔凈度，工作臺(tái)就設(shè)在“隧道內(nèi)”。

2、按受控粒子的性質(zhì)劃分
（1）工業(yè)潔凈室：受控粒子為塵埃等非生物粒子的潔凈室。
（2）生物潔凈室：受控粒子為生物粒子的潔凈室。

二、潔凈室設(shè)計(jì)要求

（1） 潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的，潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求，這是理所當(dāng)然的。因此，在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是，其面積、層高，溫度、濕度，潔凈度等應(yīng)該該高則高，該低則低，并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運(yùn)行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求，控制凈化面積，縮小高凈化級(jí)別潔凈區(qū)的范圍，嚴(yán)格控制100級(jí)和更高級(jí)別單向流潔凈區(qū)的面積。
（2）在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級(jí)別的潔凈房間布置在一起，把潔凈度要求高的工序設(shè)置在上風(fēng)側(cè)，把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設(shè)備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外，若必須放在潔凈區(qū)內(nèi)時(shí)應(yīng)盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。

三、潔凈室建設(shè)原則

（1） 當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí)，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí)，選用亂流流型。
（2） 減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
（3） 為了防止灰塵的二次飛揚(yáng)，氣流速度不能過(guò)大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。
（4） 工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來(lái)，使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。
（5） 工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔，為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。
（6） 潔凈工作臺(tái)不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當(dāng)布置在亂流潔凈室時(shí)，宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè)，以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。
（7） 潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時(shí)，宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)，以減少對(duì)室內(nèi)的污染